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发明名称 INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE WITH CONTROLLABLE POWER DISTRIBUTION
摘要
申请公布号 KR20040062443(A) 申请公布日期 2004.07.07
申请号 KR20037013326 申请日期 2003.10.10
申请人 发明人
分类号 H01J37/32;H05H1/46;C23C16/505;H01L21/3065 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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