Forno de campo magnético e processo de utilização do mesmo para fabricação de substratos semicondutores

摘要

"FORNO DE CAMPO MAGNéTICO E PROCESSO DE UTILIZAçãO DO MESMO PARA FABRICAçãO DE SUBSTRATOS SEMICONDUTORES". São providos um aparelho e processo para fabricação de um substrato semicondutor, tal como cristais de trama. O aparelho inclui uma câmara e um conjunto de hardware de desenvolvimento, alojados dentro da câmara. Um sistema de campo magnético produz um campo magnético dentro da câmara.