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发明名称
晶圆测试方法
摘要
一种晶圆测试方法用以测试分割过之晶圆,该晶圆系具有复数个阵列排列之晶片,其特征在于先利用一影像系统(visionsystem)拍摄下该复数个待测晶片之一的影像,并将该影像与一预先设定之样版比对,藉此得到该晶片的座标,据此放置一检测器之连接接点,使该检测器之连接接点与该晶片的接点电性连接,并且在同一时间,该影像系统系进行拍摄下一个待测晶片的影像,以续行该晶片之检测步骤。
申请公布号
TW200411802
申请公布日期
2004.07.01
申请号
TW091138172
申请日期
2002.12.31
申请人
日月光半导体制造股份有限公司
发明人
林悦农;林义隆;李俊哲;唐和明;林千琪;张志煌
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
刘正格
主权项
地址
高雄市楠梓区加工出口区经三路二十六号
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