发明名称 晶圆测试方法
摘要 一种晶圆测试方法用以测试分割过之晶圆,该晶圆系具有复数个阵列排列之晶片,其特征在于先利用一影像系统(visionsystem)拍摄下该复数个待测晶片之一的影像,并将该影像与一预先设定之样版比对,藉此得到该晶片的座标,据此放置一检测器之连接接点,使该检测器之连接接点与该晶片的接点电性连接,并且在同一时间,该影像系统系进行拍摄下一个待测晶片的影像,以续行该晶片之检测步骤。
申请公布号 TW200411802 申请公布日期 2004.07.01
申请号 TW091138172 申请日期 2002.12.31
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 林悦农;林义隆;李俊哲;唐和明;林千琪;张志煌
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 刘正格
主权项
地址 高雄市楠梓区加工出口区经三路二十六号