发明名称 基板支撑搬移用把持件及利用该把持件之基板支撑搬移方法
摘要 一种基板支撑搬移用把持件及利用该把持件之基板支撑搬移方法,可于基板产生形变的状态下做支持并搬运,相对于该基板形变的中心在两侧分别至少有二处的支持构件具有高度差而配置,在该把持件之长度方向配设有复数组该支持构件。抑制大型或厚度薄之玻璃基板的形变,容易插入或取出玻璃基板之箱子之同时,防止因搬运时震动而破损,而且,可对应于大型化的玻璃母板之尺寸的支持构件的配置。
申请公布号 TW200411807 申请公布日期 2004.07.01
申请号 TW092118672 申请日期 2003.07.09
申请人 先进显示股份有限公司 发明人 本研一郎;吉田和夫
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 洪澄文
主权项
地址 日本