制造电子装置之方法及电子装置

摘要

本发明提供一方法，用以在半导体本体上提供铜金属化，包括沉积铜在含氮之大气中以形成含氮之铜种子层及在种子层上形成铜金属化之步骤，亦包括种子层加热之步骤以便释放氮以形成障碍层用以自半导体本体分离种子层。