| 摘要 |
一种用于一微影装置之对准系统，其包含：一对准辐射源，该对准辐射具有一第一波长及一第二波长；一侦测系统，其具有一配置成可接收来自于一对准记号之具有该第一波长之对准辐射的第一波长频道，以及一配置成可接收来自于该对准记号之具有该第二波长之对准辐射的第二波长频道；及一位置测定单元，其与该侦测系统相联系，其中该位置测定单元处理来自于该第一及第二波长频道之资讯的组合，俾依照以该第一波长所侦测之对准辐射及以该第二波长所侦测之对准辐射的相对强度而基于第一波长频道之资讯、第二波长频道之资讯以及该第一及第二波长频道之组合资讯的其中一资讯来测定该对准记号之一位置。 |
