| 发明名称 |
Trägerhorde aus Quarzglas für die Aufnahme von scheibenförmigen Substraten aus Halbleiterwerkstoff |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE202004005378(U1) |
申请公布日期 |
2004.07.01 |
| 申请号 |
DE200420005378U |
申请日期 |
2004.04.03 |
| 申请人 |
HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/673 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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