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发明名称 PROCESS FOR OBTAINING SPATIALLY-ORGANISED NANOSTRUCTURES ON THIN FILMS
摘要
申请公布号 AU2003296604(A1) 申请公布日期 2004.06.23
申请号 AU20030296604 申请日期 2003.12.02
申请人 BISCARINI, FABIO;CAVALLINI, MASSIMILIANO;LEIGH, DAVID, A.;ZERBETTO, FRANCESCO 发明人 FABIO BISCARINI;MASSIMILIANO CAVALLINI;DAVID, A. LEIGH;FRANCESCO ZERBETTO
分类号 G03F7/00;G03F7/20;G11B5/00;G11B9/00;H01F1/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
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