| 发明名称 |
Micromachines for delivering precursors and gases for film deposition |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003302223(A8) |
申请公布日期 |
2004.06.23 |
| 申请号 |
AU20030302223 |
申请日期 |
2003.08.18 |
| 申请人 |
MICRON TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
GURTEJ S. SANDHU;CEM BASCERI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;(IPC1-7):C23C16/00 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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