| 主权项 |
1.一种溅镀靶,包含一烧结体,包含硫化锌,二氧化矽,及锌及矽之复合氧化物,硫化锌及二氧化矽之总量不低于90重量%,及硫化锌与二氧化矽之克分子量比率在90:10至70:30范围。2.如申请专利范围第1项所述之溅镀靶,其中,烧结体之相对密度不低于95%。3.如申请专利范围第1项所述之溅镀靶,其中,锌及矽之复合氧化物具有X射线绕射尖峰在3.49,2.84,及2.64处。4.如申请专利范围第1项所述之溅镀靶,其中,锌及矽之复合氧化物为原矽酸锌(Zn2SiO4)。5.如申请专利范围第1项所述之溅镀靶,其中,在烧结体之X射线绕射量度中,具有闪锌石结构之低温式硫化锌之(200)绕射之积分强度(I(200))与具有纤维锌石结构之高温式硫化锌之(100)绕射之积分强度(I(100))之比率(I(200)/I(100))不大于0.01。6.如申请专利范围第1项所述之溅镀靶,其中,至少满足以下需求(1)及(2)之一:(1)依据JIS R 1601之烧结体之三点弯曲强度不低于60MPa;及(2)依据JIS R 1611之烧结体之导热率不低于9.8W/m*K。7.如申请专利范围第1项所述之溅镀靶,其中该烧结体系由烧结由混合硫化锌粉,二氧化矽粉,及氧化锌粉所获得之混合粉所制备。8.如申请专利范围第7项所述之溅镀靶,其中,混合粉在不低于硫化锌自闪锌石结构过渡至纤维锌石结构之温度上烧结。9.如申请专利范围第7项所述之溅镀靶,其中,混合粉中之氧化锌粉之含量在0.5至5重量%范围。10.一种用以制备溅镀靶之方法,包含步骤:混合硫化锌粉,二氧化矽粉,及氧化锌粉,混合粉中之氧化锌粉之含量在0.5至5重量%范围;及以200至300kg/cm2的压力,在1000至1200℃的温度下,烧结如此所获得之混合粉。11.如申请专利范围第10项所述之方法,其中,混合粉在不低于硫化锌自锌闪锌石结构过渡至纤维锌石结构之温度上烧结。12.如申请专利范围第10项所述之方法,其中,硫化锌粉具有平均微粒直径不大于10m,二氧化矽粉具有平均微粒直径不大于10m及氧化锌粉具有平均微粒直径不大于5m。图式简单说明:图1A至1C为曲线图,分别显示比较性实例1,实例4及6之烧结体之X射线绕射轮廓;及图2A至2D为曲线图,显示本发明之实例及比较实例在预定角度上所获得之烧结体之详细X射线绕射轮廓。 |
