发明名称 SIDEWALL SPACER DEFINITION OF GATES
摘要
申请公布号 EP1428251(A1) 申请公布日期 2004.06.16
申请号 EP20020707669 申请日期 2002.01.31
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 LUKANC, TODD, P.;LYONS, CHRISTOPHER, F.
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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