发明名称
摘要
申请公布号 JP3537899(B2) 申请公布日期 2004.06.14
申请号 JP19950003598 申请日期 1995.01.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/82;G11C17/16;H01L27/10;H01L27/118;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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