| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING FACILITY AND PROCESS SYSTEMS UTILIZING EXHAUST RECIRCULATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003286599(A1) |
申请公布日期 |
2004.06.07 |
| 申请号 |
AU20030286599 |
申请日期 |
2003.10.22 |
| 申请人 |
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. |
发明人 |
W., KARL OLANDER |
| 分类号 |
B01D53/74;C23C14/48;C23C14/56;(IPC1-7):B01D53/04 |
主分类号 |
B01D53/74 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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