生产含有碳酸酯的酸敏液体组合物的方法

摘要

本发明公开了生产酸敏液体组合物的方法。该方法包括以下步骤：让含有用式ROC(＝O)OR¹表示的碳酸酯(其中R和R¹独立是1到大约10个碳原子的烃基)的酸敏液体组合物通过以下两种滤片的至少一种：(a)包括其中固定有颗粒助滤剂和具有大约2到大约10微米(μm)的平均粒度的颗粒离子交换树脂的自承纤维基质的滤片，其中该颗粒助滤剂和离子交换树脂颗粒基本上均匀分布在所述基质的整个截面部分；和/或(b)包括其中固定有颗粒助滤剂和粘结剂树脂的自承纤维基质，且具有大约0.05到0.5μm的平均孔径的滤片。本发明还公开了处理置于表面上的光致抗蚀剂组合物的薄膜的方法，所述方法包括让所述光致抗蚀剂组合物与通过上述方法制备的酸敏液体组合物接触，其量足以使在所述整个薄膜表面上具有基本均匀薄膜厚度的光致抗蚀剂组合物。

主权项

1、生产酸敏液体组合物的方法，所述方法包括以下步骤：让含有用式ROC(＝O)OR1表示的碳酸酯的酸敏液体组合物通过以下两种滤片的至少一种，其中R和R1独立是1到大约10个碳原子的烃基：(a)包括其中固定有颗粒助滤剂和颗粒离子交换树脂的自承纤维基质的滤片，所述离子交换树脂具有大约2到大约10微米(μm)的平均粒度，其中所述颗粒助滤剂和离子交换树脂颗粒基本上均匀分布在所述基质的整个截面部分；和/或(b)包括其中固定有颗粒助滤剂和粘结剂树脂的自承纤维基质的滤片，所述滤片具有大约0.05到0.5μm的平均孔径；从而获得酸敏液体组合物。