制膜装置及其驱动方法,装置的制造方法及装置的制造装置,以及装置

摘要

本发明系关于一种制膜装置及其驱动方法，装置的制造方法及装置的制造装置，以及装置；也就是说，该制膜装置及其驱动方法系藉由喷出液滴之喷出波形(第1讯号)W1和不喷出液滴并且对于液状体来赋予使得该液状体成为低黏度之偏离速度之微振动波形(第2讯号)W2而控制赋予至液状体之振动。