| 摘要 |
本发明系关于光阻之TFT–LCD高效能剥除剂组合物，更特定而言本发明系关于光阻之剥除剂组合物，该组合物至少包含20至60重量百分比之单乙醇胺(monoethanolamine)、15至50重量百分比之N，N–二甲基乙醯胺(N，N–dimethylacetamide)、15至50重量百分比之卡必醇(carbitol)、及0.1至10重量百分比之没食子酸(gallicacid)。本发明系也提供至少包含20至60重量百分比之单乙醇胺、15至50重量百分比之N，N-二甲基乙醯胺、15至50重量百分比之卡必醇之光阻之剥除剂组合物。本发明光阻之剥除剂组合物当实施于TFT–LCD制作程序时，系有效地缩减剥除时间。其系也不因良好剥除能力而遗留杂质颗粒。并且，因硬烘烤与去灰制程步骤可以省略，系简化闸制程线因而降低成本。此外，当其施于以银(Ag)作为反射／半反半射层之一制程时，其提供纯银层之剥除能力与抗腐蚀性。 |
