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发明名称
摘要
申请公布号 JP3527247(B2) 申请公布日期 2004.05.17
申请号 JP19960508797 申请日期 1995.08.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/332;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/10;H01L29/41;H01L29/417;H01L29/739;H01L29/744;H01L29/749;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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