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经营范围
发明名称
SCHMALBANDIGER EXCIMERLASER
摘要
申请公布号
DE69819547(T2)
申请公布日期
2004.05.13
申请号
DE19986019547T
申请日期
1998.08.21
申请人
CYMER, INC.
发明人
ISHIHARA, TOSHIHIKO;HOFMANN, THOMAS;DAS, P.;ERSHOV, ALEXANDER I.
分类号
H01S3/038;G03F7/20;H01S3/02;H01S3/03;H01S3/034;H01S3/036;H01S3/08;H01S3/0971;H01S3/1055;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/225
主分类号
H01S3/038
代理机构
代理人
主权项
地址
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