| 发明名称 |
Plasma jet chemical vapor deposition system having a plurality of distribution heads |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0985742(B1) |
申请公布日期 |
2004.05.12 |
| 申请号 |
EP19990117804 |
申请日期 |
1999.09.09 |
| 申请人 |
SAINT-GOBAININDUSTRIAL CERAMICS, INC. |
发明人 |
SIMPSON, MATHEW A. |
| 分类号 |
C23C16/27;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/513;C23C16/54;H01J37/32;H05H1/44;(IPC1-7):C23C16/50;C23C16/26 |
主分类号 |
C23C16/27 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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