| 发明名称 |
METHOD OF FORMING DIELECTRIC FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003301469(A1) |
申请公布日期 |
2004.05.04 |
| 申请号 |
AU20030301469 |
申请日期 |
2003.10.17 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
TSUYOSHI TAKAHASHI;HIROSHI SHINRIKI;KAZUMI KUBO |
| 分类号 |
H01L27/04;C23C16/40;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/108;H01L29/51;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/824 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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