| 发明名称 |
Inductorinrichting op een siliciumsubstraat en werkwijze voor het vervaardigen daarvan. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL1010905(C2) |
申请公布日期 |
2004.05.03 |
| 申请号 |
NL19981010905 |
申请日期 |
1998.12.24 |
| 申请人 |
ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE |
发明人 |
JIN HYO LEE;HEUNG-SOO RHEE;HYUN KYU YU;BO WOO KIM;KEE SOO NAM |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/763;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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