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发明名称 VERFAHREN ZUR CVD BEI NIEDRIGEN TEMPERATUREN UNTER VERWENDUNG VON BI-AMIDEN
摘要
申请公布号 DE69822612(D1) 申请公布日期 2004.04.29
申请号 DE19986022612 申请日期 1998.12.10
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 HINTERMAIER, FRANK;VAN BUSKIRK, PETER;ROEDER, R.;HENDRIX, BRYAN;BAUM, H.;DESROCHERS, A.
分类号 C23C16/40;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):C23C16/40;H01L29/00;C23C18/12;C30B25/02 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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