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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 KR20040035596(A) 申请公布日期 2004.04.29
申请号 KR20037013572 申请日期 2003.10.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/28;H01L21/3213 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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