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发明名称
摘要
申请公布号 JP2004512683(A) 申请公布日期 2004.04.22
申请号 JP20020537047 申请日期 2001.09.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/331;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/336;H01L21/338;H01L21/762;H01L27/12;H01L29/161;H01L29/737;H01L29/778;H01L29/786;H01L29/812;H01L29/861;H01L31/10;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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