发明名称 |
Apparatus and method for cleaning probe card contacts |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2389303(B) |
申请公布日期 |
2004.04.21 |
申请号 |
GB20020026851 |
申请日期 |
2002.11.18 |
申请人 |
* SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. |
发明人 |
BYOUNG-JOO * KIM;IN-SEOK * HWANG;HO-YEOL * LEE;SOO-MIN * BYUN;HYUNG-KOO * KIM;JOON-SU * JI |
分类号 |
G01R1/06;B08B1/00;B24B19/16;G01R3/00;H01L21/304;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28;G01R1/073 |
主分类号 |
G01R1/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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