| 发明名称 |
METHOD FOR CONVERTING LASER RADIATION INTO X-RADIATION, IN PARTICULAR, INTO EXTREME ULTRAVIOLET (EUV) RADIATION USING A PLASMA GENERATED BY THE LASER RADIATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1410696(A1) |
申请公布日期 |
2004.04.21 |
| 申请号 |
EP20010978165 |
申请日期 |
2001.09.19 |
| 申请人 |
FRIEDRICH-SCHILLER-UNIVERSITAET JENA |
发明人 |
SAUERBREY, ROLAND;FEURER, THOMAS, DR. |
| 分类号 |
G03F7/20;H05G2/00;(IPC1-7):H05G2/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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