发明名称 |
水溶性负性光刻胶组合物 |
摘要 |
一种水溶性聚合物,当该聚合物与光致酸生成剂(PAG)一起使用时,形成负性水溶性光刻胶。该聚合物包括通过连接基团与缩醛保护的β-酮酸基团偶联的主链,如聚乙烯基醚。通过加入大量的市购光致酸生成剂,聚合物制剂形成水溶性负性光刻胶。照射曝光会造成光致酸催化缩醛基团脱保护,生成β-酮酸,该β-酮酸在加热时会发生脱羧,得到水不溶性光致产品并放出二氧化碳副产品。该光化学诱导反应导致聚合物溶解度参数明显变化,且产品不再溶于水。由于溶解度改变不需要交联,因此显影期间暴露于含水基质时不会出现刻蚀图象溶胀,因此不会降低分辨率。这使所用的光刻胶在i-线和深UV波长下具有高分辨率。 |
申请公布号 |
CN1145651C |
申请公布日期 |
2004.04.14 |
申请号 |
CN99806602.8 |
申请日期 |
1999.05.18 |
申请人 |
克拉里安特国际有限公司 |
发明人 |
I·麦克库罗克;A·J·伊斯特;康明;R·克西安;H-N·尹 |
分类号 |
C08F246/00;G03F7/038;G03F7/039 |
主分类号 |
C08F246/00 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
李瑛 |
主权项 |
1.一种特别适合用作光刻胶的聚合物,包括:a)作为聚合物主链的乙烯基类聚合物;b)缩醛保护的β-酮酸基团;和c)连接主链和缩醛保护的β-酮酸基团的连接基团。 |
地址 |
瑞士穆腾茨 |