调准装置和方法，平版印刷装置，器件制造方法及制造的器件

摘要

一种附加的光学元件可在调准期间设置在调准光束中。当调准光束具有距衬底前表面不同的焦距时，该光学元件可将调准光束聚焦到衬底的调准标记上。

主权项

1.一种调准装置，包括：衬底台，用于固定带有衬底标记的衬底，其中衬底标记可位于距所述衬底的其余表面不同的水平面上；和调准系统，使用辐射调准光束检测参考标记和所述衬底标记之间的对准状况；其特征在于，当检测对准状况时，一光学元件可移动定位于所述调准光束的路径上，用于调整所述调准系统的焦平面，使其聚焦在与所述衬底其余表面不同的水平面上的衬底标记。