| 发明名称 | 光学式测定装置 | ||
| 摘要 | 以自由旋转的方式将反射镜保持环(21)设置在光学系统(3)的物镜(12)的外周，将光路变向反射镜(22)的上端部以自由旋转的方式支撑在该反射镜保持环(21)上。在光路变向反射镜(22)与光学系统(3)的光轴平行的状态下，来自光学系统(3)的光垂直向下照射在被测物的上表面上。以上端部为支点使光路变向反射镜(22)旋转，相对于光学系统(3)的光轴倾斜45度时，来自光学系统(3)的光改变90度方向而照射在被测物的侧面。因此不改变被测物的姿态就能测定侧面的形状等。 | ||
| 申请公布号 | CN1145013C | 申请公布日期 | 2004.04.07 |
| 申请号 | CN97110317.8 | 申请日期 | 1997.04.04 |
| 申请人 | 株式会社三丰 | 发明人 | 立花俊作;依田幸二;冈部宪嗣 |
| 分类号 | G01B11/00 | 主分类号 | G01B11/00 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 杨凯;叶恺东 |
| 主权项 | 1.一种光学式测定装置，它具有放置被测物的台，以及相对于该台以可移动的方式设置的光学系统，该光学系统具有一个位于台的上方的物镜，一个用于以光照射放置于台上的被测物的光源，该光学系统接收来自放置在台上的该被测物的反射或透射光，根据该光学系统获得的受光图象，测定该被测物的尺寸及形状，该台和光学系统可以沿3维方向相对移动，其特征在于：具有一个光路变向反射镜，用以使上述光学系统的光的光路变向，照射在上述被测物的侧面上，并同时使从上述被测物的侧面反射或透射的光的光路变向，使光进入该光学系统，上述光路变向反射镜可以该光学系统的光轴为中心旋转。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||