发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要 提供一种半导体装置及其制造方法。该半导体装置包含:沿第1方向延伸的第1布线;和通过连接部分与第1布线相连并沿与第1方向正交的第2方向延伸的第2布线,该第2布线具有从连接部分沿与第2方向的相反方向凸出的剩余部分,其中,在设置第1布线和第2布线时使得连接部分的中心从第1布线的中心沿第2方向发生偏移,并且在连接部分的下面设置第1布线的凸出部分。
申请公布号 CN1487580A 申请公布日期 2004.04.07
申请号 CN03155598.5 申请日期 2003.08.29
申请人 株式会社日立制作所 发明人 村田知生;矢吹忍;山下毅雄
分类号 H01L21/768;G06F17/50 主分类号 H01L21/768
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 付建军
主权项 1.一种半导体装置的制造方法,该半导体装置包含:(a)沿第1方向延伸的第1布线;(b)通过连接部分与第1布线相连并沿与第1方向正交的第2方向延伸的第2布线,该第2布线具有从连接部分沿第2方向的相反方向凸出的剩余部分,其中,在设置第1布线和第2布线时,(c)连接部分的中心从第1布线的中心沿第2方向发生偏移;(d)在连接部分下面设置第1布线的凸出部分。
地址 日本东京