凸板光罩光微影术

摘要

本发明揭露用于架构例如被称为永久不昂贵耐用记忆体(PIRM)交叉点阵列之数位电路的层次组与方法，其可藉着使用透明压纹工具(110)而经由图案化与硬化作用在可挠性基材(140)上制造。