电浆反应器中使用之碳化矽金属陶瓷涂层

摘要

一复合形状之Si／SiC金属陶瓷部件包含一保护涂层沉积于金属陶瓷部件之面向反应室的电浆之部份。金属陶瓷部件系藉由铸造一SiC生坯模并加工该形状成为一生坯模加以形成。生坯模被未完成烧结，使得其被未压密并于烧结时收缩低于1％。熔融矽被流入未压密烧结主体的孔隙中。化学气相沉积或电浆喷涂涂覆一碳化矽、碳化硼、钻石或相关碳系材料的保护膜至该金属陶瓷结构。该部件可以架构以用于电浆反应室中，例如一室主体、喷气头、聚焦环或室衬垫。