移动式表面形状测定装置

摘要

一种移动式表面形状测定装置，具有直线状导轨、可沿导轨移动地与导轨结合的工作台、可在导轨的垂直于长轴的横轴方向上移动地与工作台结合的载物台、固定在载物台上的非接触变位传感器、驱动工作台的第1驱动装置、检测非接触变位传感器的长轴坐标的第1坐标检测装置、驱动载物台的第2驱动装置、检测非接触变位传感器的横轴坐标的第2坐标检测装置、使用导轨的横轴方向挠曲来修正非接触变位传感器的横轴坐标的坐标修正装置、支持导轨的支持部件、和相对被测定表面定位支持部件的支持部件定位装置。

主权项

1.一种移动式表面形状测定装置，其特征为，具有直线状导轨，可沿导轨移动地与导轨结合的工作台，可在导轨的垂直于长轴的横轴方向上移动地与工作台结合的载物台，固定在载物台上的非接触变位传感器，驱动工作台的第1驱动装置，检测非接触变位传感器的长轴坐标的第1坐标检测装置，驱动载物台的第2驱动装置，检测非接触变位传感器的横轴坐标的第2坐标检测装置，使用导轨的横轴方向挠曲来修正非接触变位传感器的横轴坐标的坐标修正装置，支持导轨的支持部件，和相对被测定表面定位支持部件的支持部件定位装置。