发明名称 SOI POLYSILICON TRENCH REFILL PERIMETER OXIDE ANCHOR SCHEME
摘要
申请公布号 AU2003298250(A1) 申请公布日期 2004.03.29
申请号 AU20030298250 申请日期 2003.06.16
申请人 MOTOROLA, INC., A CORPORATION OF THE STATE OF DELAWARE 发明人 DAVID, J. MONK;GARY, J. O'BRIEN
分类号 B81B3/00;B81C1/00;(IPC1-7):B81C1/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
地址