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发明名称
SOI POLYSILICON TRENCH REFILL PERIMETER OXIDE ANCHOR SCHEME
摘要
申请公布号
AU2003298250(A1)
申请公布日期
2004.03.29
申请号
AU20030298250
申请日期
2003.06.16
申请人
MOTOROLA, INC., A CORPORATION OF THE STATE OF DELAWARE
发明人
DAVID, J. MONK;GARY, J. O'BRIEN
分类号
B81B3/00;B81C1/00;(IPC1-7):B81C1/00
主分类号
B81B3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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