发明名称 IMPROVED ABRASIVES FOR CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING APPLICATIONS
摘要
申请公布号 IL157681(D0) 申请公布日期 2004.03.28
申请号 IL20030157681 申请日期 2003.09.01
申请人 J.G. SYSTEMS, INC. 发明人
分类号 B24B7/22;B24D3/06;B24D11/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/321;(IPC1-7):C23C 主分类号 B24B7/22
代理机构 代理人
主权项
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