| 摘要 |
本发明的课题为：本发明要提供一种真空泵浦装置，可有效率地将多段主泵浦的热量传达到增压泵浦。本发明的解决手段为：真空泵浦装置，在将多段式的第一泵浦机构(P1)收容在第一壳体(H1)内的主泵浦(11)上，是载置固定着将第二泵浦机构(P2)收容在第二壳体(H2)内的增压泵浦(61)。主泵浦(11)与增压泵浦(61)，是以将该增压泵浦(61)作为气体流的上流侧的方式串联连接在一起。第一壳体(H1)与第二壳体(H2)，是在主泵浦(11)上经由支承增压泵浦(61)的支承部(67)以可进行热传方式被结合在一起。支承部(67)，对于第一壳体(H1)，是与包围第一泵浦机构(P1)的最后段的泵浦室(55)的部位(46)以可进行热传方式直接连结。 |
