包括氟化盐、螯合剂及二醇溶剂之选择性氧化矽蚀刻剂调配物

摘要

本发明的调配物以速率大于或等于未掺杂之氧化矽(例如热氧化物)之蚀刻速率蚀刻经掺杂之氧化矽化合物，例如BPSG和PSG层。这些调配物具有螯合剂的一般组成，较佳为弱至中度酸性(0.1-10%；较佳为0.2-2.8%)；氟化盐，其可为氟化铵，或氟化铵或聚氟化铵的有机衍生物(1.65-7%)；较佳为2.25-7%)；二元醇溶剂(71-98%；较佳为90-98%)；和选用之胺。

主权项

1.一种用于蚀刻各种不同类型氧化矽之化学调配物,其包含:一种选自由亚胺基二乙酸,丙二酸,草酸,琥珀酸,硼酸,苹果酸与2,4-戊基二酮所组成之群之弱至中度酸性之螯合剂,其中该螯合剂以调配物之总重计以0.1-10重量%之浓度存在;一种选自由氟化铵、氟化铵的有机衍生物及聚氟化铵的有机衍生物所组成之群之氟化盐,其中该氟化盐以调配物总重计以1.65-7重量%之浓度存在;及二元醇溶剂,其以调配物总重计以71-98.25重量%之浓度存在。2.根据申请专利范围第1项之化学调配物,其中该二元醇溶剂以该调配物总重计以83-98.25重量%之浓度存在。3.根据申请专利范围第1项之化学调配物,其进一步包括胺,该胺具有以该调配物总重计呈不超过10重量%之浓度。4.根据申请专利范围第2项之化学调配物,其中该螯合剂系选自包含:亚胺基二乙酸丙二酸草酸琥珀酸。5.根据申请专利范围第3项之化学调配物,其中该螯合剂系选自包含:亚胺基二乙酸丙二酸草酸琥珀酸。6.根据申请专利范围第2项之化学调配物,其中该螯合剂系选自包含:亚胺基二乙酸丙二酸草酸琥珀酸硼酸邻苯二酚苹果酸2,4-戊基二酮。7.根据申请专利范围第3项之化学调配物,其中该螯合剂系选自包含:亚胺基二乙酸丙二酸草酸琥珀酸硼酸邻苯二酚苹果酸2,4-戊基二酮。8.根据申请专利范围第1项之化学调配物,其中该氟化盐系选自包含:氟化铵三氟化五甲基二伸乙基三铵氟化四甲基铵氟化三乙醇铵。9.根据申请专利范围第2项之化学调配物,其中该氟化盐系选自包含:氟化铵三氟化五甲基二伸乙基三铵氟化四甲基铵氟化三乙醇铵。10.根据申请专利范围第3项之化学调配物,其中该氟化盐系选自包含:氟化铵三氟化五甲基二伸乙基三铵氟化四甲基铵氟化三乙醇铵。11.根据申请专利范围第4项之化学调配物,其中该氟化盐系选自包含:氟化铵三氟化五甲基二伸乙基三铵氟化四甲基铵氟化三乙醇铵。12.根据申请专利范围第5项之化学调配物,其中该氟化盐系选自包含:氟化铵三氟化五甲基二伸乙基三铵氟化四甲基铵氟化三乙醇铵。13.根据申请专利范围第6项之化学调配物,其中该氟化盐系选自包含:氟化铵三氟化五甲基二伸乙基三铵氟化四甲基铵氟化三乙醇铵。14.根据申请专利范围第3项之化学调配物,其中该胺系选自包含:二环己基胺五甲基二伸乙基三胺三乙醇胺。15.根据申请专利范围第5项之化学调配物,其中该胺系选自包含:二环己基胺五甲基二伸乙基三胺三乙醇胺。16.根据申请专利范围第10项之化学调配物,其中该胺系选自包含:二环己基胺五甲基二伸乙基三胺三乙醇胺。17.根据申请专利范围第12项之化学调配物,其中该胺系选自包含:二环己基胺五甲基二伸乙基三胺三乙醇胺。18.根据申请专利范围第1项之化学调配物,其包含:草酸 2.5%氟化四甲基铵 4.5%乙二醇 9319.根据申请专利范围第1项之化学调配物,其包含:草酸 1.3%三氟化五甲基二伸乙基三铵4.6%乙二醇 94.120.根据申请专利范围第1项之化学调配物,其包含:草酸 1.25%氟化三乙醇铵 5%乙二醇 93.7521.根据申请专利范围第1项之化学调配物,其包含:丙二酸 2.8%氟化四甲基铵 5.1%乙二醇 92.122.根据申请专利范围第1项之化学调配物,其包含:亚胺基二乙酸 2%氟化铵 7%乙二醇 9123.根据申请专利范围第1项之化学调配物,其包含:琥珀酸 2.8%氟化铵 5%乙二醇 92.224.根据申请专利范围第3项之化学调配物,其包含:2,4-戊基二酮 10%氟化铵 5%五甲基二伸乙基三胺 10%乙二醇 7525.根据申请专利范围第1项之化学调配物,其中该氟化盐具有,基于调配物之总量,在调配物中1.65~7%之浓度。26.根据申请专利范围第1项之化学调配物,其中该二元醇溶剂具有,基于调配物之总重,在调配物中71%~98.25%之浓度。