发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION D'UN CIRCUIT ELECTRIQUE COMPRENANT UNE ETAPE DE POLISSAGE |
摘要 |
<P>Un procédé de fabrication d'un circuit électrique intégré comprend la formation puis le retrait d'inserts conducteurs. Des composants (10, 20) du circuit électrique sont incorporés dans des matériaux isolants (2, 4) superposés au dessus d'un substrat (1). Le procédé permet l'aménagement d'un volume d'exclusion autour de certains composants sensibles (10) aux couplages électrostatiques tout en conférant une surface (S2) plane à chaque matériau isolant à l'issue d'une étape de polissage.</P>
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申请公布号 |
FR2844096(A1) |
申请公布日期 |
2004.03.05 |
申请号 |
FR20020010779 |
申请日期 |
2002.08.30 |
申请人 |
STMICROELECTRONICS SA;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS NV |
发明人 |
KORDIC SRDJAN;INARD ALAIN;ROUSSEL CELINE;GAYET PHILIPPE |
分类号 |
H01L21/02;H01L21/3105;H01L21/321;H01L21/768;H01L23/522;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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