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发明名称 A SOCKET CONTACT AND FEED-THROUGH DEVICE
摘要
申请公布号 EP1393546(A1) 申请公布日期 2004.03.03
申请号 EP20020769596 申请日期 2002.05.14
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 HATAKEYAMA, MASAHIRO;SATAKE, TOHRU;MURAKAMI, TAKESHI;WATANABE, KENJI;NOJI, NOBUHARU
分类号 G03F7/20;G01N21/956;H01J37/22;H01J37/244;H01L21/027;H01R13/24;H04N5/225;(IPC1-7):H04N3/15;H01J37/26;H01R13/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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