| 摘要 |
A szabadalom tárgya mikromechanikai eljárás és eszköz, melynek főalkotóeleme a megnövelt mechanikai teherbírású, elektromosanszigetelt, nagy termikus ellenállású, felfüggesztett, vagy szabadonálló, mikromechanikai eljárással előállított membrán. Az eszközelőállítására a Si kristály elektrokémiai megmunkálása (pórusos Sitömbi mikromechanikai eljárás) és a szokványos vékonyréteg-technológiai műveletek (vékonyréteg-leválasztási, fotolitográfiaiábrakialakítás, vékonyréteg nedves, vagy száraz marásai és Siadalékolási eljárások) kombinációja szolgál. A membráneszközökjellemzője, hogy az alátámasztást a súlyvonalukban, vagysúlypontjukban kialakított szub-mikrométer vastag egykristályos Si falilletve oszlop valósítja meg. Az alátámasztó oszlop, illetve falalakja a membrán geometriájától az alámarási módszertől és azegykristály típusától függ. Az egy-, vagy többrétegű membrán anyagaSi-ban dús szilícium-nitrid, amelyben, ill. amelyen elektromosanvezető és félvezető struktúrák alakíthatók ki. A membrán aljához n-típusú egykristályos Si tömb is csatolható. A jellemzően 0,1-3mmvastag, 10mm-1mm laterális méretű membránok tetejére nagy tömegű (mg-mg) anyagok (pl. érzékelők) választhatók le a membrán mechanikaisérülése nélkül. Az eljárással készített megnövelt mechanikaistabilitású membránok alkalmazási területei: mikroérzékelők,mikroreaktorok és mikroaktuátorok. Ó |
