没有对准销的FIMS接口

摘要

本发明公开了一种前开口接口机械标准或“FIMS”系统，用来确保容器门(22)相对于负载通道组件上的通道门(26)正确对准而无须在通道门(26)上使用导销。在一个优选实施方案中，该负载通道组件包括活动销(27A，27B)，它们设置成配合在位于FOUP的底部上的狭槽内以在负载通道组件上提供FOUP的固定和可重复的位置。该负载通道组件还包括一对从通道门(26)的外表面向外伸出的碰锁钥匙(22)，用于配合在位于容器门内的门闩锁组件的狭槽(33)内。该负载通道组件还可以包括位于通道门(26)上的真空密封件。在一个实施方案中，通过上述约束件，该负载通道组件可以初始地包括有可拆卸的对准销(40)。这些对准销(40)与校准定位器联合操作以设定活动销(27A，27B)在负载通道组件上的各自的和共同的高度。

主权项

1.一种用于容纳和打开装有一个或多个与半导体制造过程有关的工件的容器的接口，该容器包括有外壳和垂直取向的门，所述接口包括用于支撑该容器的对准部件，所述垂直取向的门包括有至少一个狭槽，所述接口包括：一垂直表面；从所述垂直表面中伸出的至少一个钥匙，该钥匙能够装配在所述至少一个狭槽内，所述至少一个钥匙能够打开该容器并且将所述垂直取向的门连接到所述垂直表面上；设置在所述垂直表面内的至少一个孔；以及至少一个可拆卸的对准销，其能够装配在所述至少一个孔内，所述至少一个可拆卸的对准销设置在所述至少一个孔内以调节所述对准部件的位置，并且从所述接口中将所述至少一个可拆卸销去除以容纳位于接口上的容器。