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发明名称
METHOD FOR MAKING AN OPTICAL MICROMIRROR AND MICROMIRROR OR ARRAY OF MICROMIRRORS OBTAINED BY SAID METHOD
摘要
申请公布号
EP1390794(A2)
申请公布日期
2004.02.25
申请号
EP20020704816
申请日期
2002.02.13
申请人
TEEM PHOTONICS
发明人
VALETTE, SERGE
分类号
B81B3/00;B81C1/00;G02B26/08;(IPC1-7):G02B26/08
主分类号
B81B3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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