发明名称 用于气体放电板的基板组件、其制造工艺以及气体放电板
摘要 一种用于气体放电板的基板组件,包括在具有电极的基板上依次形成的介质层和MgO保护层,其中介质层是从基板一侧依次为有机介质层和无机介质层的叠层。
申请公布号 CN1477672A 申请公布日期 2004.02.25
申请号 CN03133110.6 申请日期 2003.07.23
申请人 富士通株式会社 发明人 長谷川実;豊田治
分类号 H01J17/04;H01J9/02 主分类号 H01J17/04
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王永刚
主权项 1.一种用于气体放电板的基板组件,包括在具有电极的基板上依次形成的介质层和MgO保护层,其中介质层是从基板一侧依次为有机介质层和无机介质层的叠层。
地址 日本神奈川