发明名称 Automated semiconductor device method and structure
摘要
申请公布号 US3281628(A) 申请公布日期 1966.10.25
申请号 US19650486585 申请日期 1965.08.16
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGS-G.M.B.H. 发明人 BAUER ALFRED;SCHOLZ HERBERT;ENGBERT WILHELM;BAUMANN DIETER
分类号 H01L23/48;H01L23/055;H01L23/495 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人
主权项
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