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发明名称 LOW TEMPERATURE PLASMA SI OR SIGE FOR MEMS APPLICATIONS
摘要
申请公布号 AU2003229041(A1) 申请公布日期 2004.02.23
申请号 AU20030229041 申请日期 2003.05.13
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 JUERGEN, A. FOERSTNER;STEVEN, M. SMITH;RAYMOND, MERVIN ROOP
分类号 B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;H01H49/00;H01H59/00;(IPC1-7):B81C1/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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