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发明名称 HIGH TEMPERATURE ELECTROSTATIC CHUCK
摘要
申请公布号 KR20040015763(A) 申请公布日期 2004.02.19
申请号 KR20037017080 申请日期 2002.06.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/68;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/683;H01L25/00;H02N13/00 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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