MEMS元件及其制造方法、光调制元件、GLV装置及其制造方法、及雷射显示器

摘要

本发明之目的系达成MEMS元件之驱动侧电极表面之平滑化。为达成此目的，该MEMS元件系具备：基板侧电极45；以及梁条46，其系由相对向于基板侧电极45而配置，并藉由在与其基板侧电极45之间作用的静电引力或静电斥力而驱动的基板侧电极48所构成；且基板侧电极45系由单结晶半导体层所形成。