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发明名称
Getter-System zur Behandlungsatmosphäre-Reinigung in physikalischen Dampfphasenabscheidungs-Verfahren
摘要
申请公布号
DE69812305(T2)
申请公布日期
2004.02.12
申请号
DE19986012305T
申请日期
1998.12.09
申请人
SAES GETTERS S.P.A., LAINATE
发明人
CONTE, ANDREA;MAZZA, FRANCESCO
分类号
C23C14/56;F04B37/02;H01J7/18;H01J37/18;(IPC1-7):C23C14/56
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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