| 主权项 |
1.一种利用等离子体技术沉积复合型耐腐蚀层和亲水层的方法，其特征在于：包括：步骤一：接通电源后，卷板装置(105)和卷板装置(107) 的电机(图中未示出)分别驱动卷板装置(105)沿 逆时针方向旋转和卷板装置(107)沿顺时针方向旋 转，从而使卷在卷板装置(105)上的铝板(104)在 传送轮系(109)的导向下从沉积室(101)内的上部 电极(102)和下部电极(103)之间穿过，进入卷板 室(108)并在传送轮系(109)的导向下连续地卷在 卷板装置(107)上；与此同时，通过工程气体注入 通道(111)向沉积室(101)内注入比例为1500sccm： 2100sccm的HMDSO(六甲基二硅氧烷)和氦气混合而 成的工程气体，并接通直流电源(114)，在上部电 极(102)、下部电极(103)与铝板(104)之间施 加1100V-1300V的直流电压，从而使上部电极(102)、 下部电极(103)与铝板(104)之间的工程气体被电 离成等离子体，在连续移动的铝板(104)的表面沉 积形成高分子耐腐蚀层(121)；步骤二：通过上述步骤一在整卷铝板(104)的表面沉积上高 分子耐腐蚀层(121)之后，再次接通电源，卷板装 置(105)和卷板装置(107)的电机(图中未示出) 分别驱动卷板装置(105)沿顺时针方向旋转和卷板 装置(107)沿逆时针方向旋转，从而使卷在卷板装 置(107)上的沉积有高分子耐腐蚀层的铝板(104) 在传送轮系(109)的导向下从沉积室(101)内的上 部电极(102)和下部电极(103)之间穿过，进入卷 板室(106)并在传送轮系(109)的导向下连续地卷 在卷板装置(105)上；与此同时，通过工程气体注 入通道(111)向沉积室(101)内注入比例为700sccm： 2100sccm的碳化氢气体和氦气混合而成的工程气 体，并接通直流电源(114)，在上部电极(102)、 下部电极(103)与铝板(104)之间施加1100V-1300V 的直流电压，从而使上部电极(102)、下部电极(103) 与铝板(104)之间的工程气体被电离成等离子体， 在连续移动的铝板(104)的耐腐蚀层(121)的表面 沉积形成高分子亲水层(122)。 |
