定齿偏置的梳齿式体硅加工微机械结构

摘要

本发明属于体硅加工微机械结构设计领域，涉及定齿偏置的梳齿式体硅加工微机械结构，包括一个由齿枢、多组动齿和折叠梁组构成的敏感质量元件，固定齿和基片，敏感质量元件的每个梳齿和其相邻的两定齿距离不等，两侧距离比值为1∶(8-12)，本发明结构最重要的优点就是键合块少、面积大，大大降低了键合难度，且键合接触电阻小、均匀，显著提高了加工成品率，使微机械加速度计从面加工到体加工成为可能，从而使分辨率和精度大大提高。此外明显减少了玻璃极板上均置方案所必需的许多内部引线、电极。这样，一方面避免了电极、引线间的分布电容及电信号的干扰；另一方面，减少了引线输出数目，降低了引线键合的工作量。

主权项

1、一种定齿偏置的梳齿式体硅加工微机械结构，包括一个由齿枢、多组动齿和折叠梁组构成的敏感质量元件，固定齿和基片；该动齿由齿枢向两侧伸出，形成双侧梳齿式结构，该齿枢两端的折叠梁固定于基片上，使齿枢、多组动齿相对基片悬空平行设置；所说的敏感质量元件的每个动齿为可变电容的一个活动电极，与固定齿的每个梳齿交错配置，总体形成差动电容；其特征在于，该固定齿为直接固定在基片上的多组单侧梳齿式结构；所说的敏感质量元件的每个梳齿和其相邻的两定齿距离的比值为1∶(8-12)。